Zasadniczą częścią układu jest próżniowa komora analityczna wyposażona w precyzyjny manipulator pięcioosiowy (translacja w kierunkach X, Y, Z oraz obroty wokół osi Z i osi prostopadłej do powierzchni próbki) z możliwością chłodzenia i grzania próbek w zakresie od 90 do 1473 K, hemisferyczny analizator cząstek naładowanych XPS i AES (VG SCIENTA R3000), lampę rentgenowską dwu antykatodową Mg/Al (moc Mg/Al 400/600 W), monochromator promieniowania rentgenowskiego wraz ze źródłem promieniowania (pojedyncza antykatoda Al), układ pompowy i pomiarowy próżni (zapewniona próżnia bazowa < 1 10-8 po 48 h wygrzewania w 150 °C), działo neutralizujące ładunek na powierzchni próbek nieprzewodzących (zakres energii 0-500 eV, natężenie prądu elektronowego 1-500 μA), działo jonowe do wykonywania profili głębokościowych (IS 40E1) oraz działo elektronowe do spektroskopii Augera (ES 40C1). W zaprojektowanym systemie istnieje zatem możliwość zbierania widm XPS oraz AES. Szeroki wybór dostępnych nośników próbek zapewnia przygotowanie systemu do pomiarów zarówno dla preparatów w formie monokryształów, blaszek i granulek, jak i proszków. Przed właściwym pomiarem możliwa jest aktywacja termiczna preparatu w komorze preparacyjnej z manipulatorem czteroosiowym bądź chemiczna w wysokociśnieniowym reaktorze przepływowym (zestaw gwarantujący pracę z zastosowaniem do czterech różnych gazów reakcyjnych pod ciśnieniem do 1.6 MPa oraz do temperatury 920 K, z analizą gazowych produktów w kwadrupolowym spektrometrze masowym).